9月11日消息，据外媒报道，在5nm和3nm制程工艺上，台积电和三星电子从阿斯麦采购了大量的极紫外光刻机，而随着制程工艺的升级，台积电和三星电子也需要购买更先进的光刻机，在2nm以下的制程工艺上，就需要高数值孔径极紫外光刻机。
而外媒最新援引半导体产业内的消息报道称，台积电将在月底从阿斯麦接收首台高数值孔径极紫外光刻机。
阿斯麦公布的消息显示，他们的高数值孔径极紫外光刻机，将命名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。在此前所发布的财报中，阿斯麦也曾披露他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两个型号，前者在2018年就已开始获得客户的订单，后者在2021年四季度也获得了首台订单。
从外媒的报道来看，台积电月底从阿斯麦接收的首台高数值孔径极紫外光刻机，是TWINSCAN EXE:5000型号。
虽然外媒在报道中称台积电月底就将从阿斯麦接收首台高数值孔径的极紫外光刻机，但他们也提到，台积电是计划在1.4nm制程工艺上开始采用这一类的光刻机，他们的1.4nm制程工艺计划在2027年量产。
在1.4nm制程工艺量产前近3年就开始接收高数值孔径的极紫外光刻机，也将给台积电这一制程工艺的研发及后续大规模量产带来便利，进而获得可观的订单，在市场份额上继续领先。
在报道中，外媒也提到了阿斯麦高数值孔径极紫外光刻机的售价，每台约3.84亿美元。
在高数值孔径极紫外光刻机上，阿斯麦前CEO兼总裁彼得•维尼克2022年的11月份曾透露，将在2024年开始出货，每台的价格在3亿到3.5亿欧元。(海蓝)
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